BPG402-Sx 大氣壓至超高真空真空計(jì)

INFICON 貝阿德-阿爾珀特皮拉尼（Pirani）BPG402-S型復(fù)合真空計(jì)將兩種真空計(jì)的功能融合到一個(gè)緊湊型裝置中，測(cè)量范圍為 5×10-10 毫巴至大氣壓（3.8×10-10 托至大氣壓）。多項(xiàng)技術(shù)相結(jié)合降低了安裝、設(shè)置和集成的復(fù)雜性。選擇帶有兩根氧化釔鍍層銥絲的BPG400型真空計(jì)，價(jià)格經(jīng)濟(jì)，且可重復(fù)測(cè)量基準(zhǔn)壓力。傳感元件自帶的在軌校準(zhǔn)數(shù)據(jù)在更換傳感器時(shí)確保了高再現(xiàn)性。
益處

測(cè)量范圍非常廣，從 5×10-10 毫巴至大氣壓（3.8×10-10 托至大氣壓）

10-8 … 10-2 毫巴過程壓力范圍內(nèi) 5% 的優(yōu)良可重復(fù)性

皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)單絲，防止過早燒毀

兩根使用壽命長(zhǎng)的氧化釔銥絲

備有可選的圖形顯示屏和現(xiàn)場(chǎng)總線接口

高真空皮拉尼自動(dòng)調(diào)節(jié)，減少操作員干預(yù)

易于更換的傳感元件與板載校準(zhǔn)數(shù)據(jù)確保高再現(xiàn)性

RoHS 合規(guī)

典型應(yīng)用

對(duì)半導(dǎo)體過程和傳輸腔室的壓力測(cè)量

工業(yè)鍍膜

低真空和超高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制
類型 BPG402-S

測(cè)量范圍（空氣、O2、CO、N2）      5×10-10 … 1000

精度

10-8 … 10-2 毫巴    % of reading    ±15

可重復(fù)性

10-8 … 10-2 毫巴    % of reading    5

除氣 (1)

p < 7.2 × 10-6 mbar    electron bombardment, max. 3 min

壓力，zui大   bar (absolute)  2

溫度

運(yùn)行（環(huán)境） °C 0 … +50

貯存 °C -20 … +70

在法蘭處烘烤，無電子設(shè)備 BPG402-S °C 80

無電子設(shè)備，在法蘭處烘烤 BPG402-SL    °C 150

電源電壓     +20 … +28

輸出信號(hào)模擬

輸出信號(hào) V   0 … +10

測(cè)量范圍 V   +0.774 … +10

電壓與壓強(qiáng)   volts per decade    0.75

錯(cuò)誤信號(hào) V   0.1 / 0.3 / 0.5

zui小負(fù)載電阻 k?  10

設(shè)定點(diǎn)繼電器

設(shè)定點(diǎn)數(shù)量       1

范圍 mbar    1×10-9 … 100

繼電器觸點(diǎn)       n.o., potential free

滯后 % of reading    10

觸點(diǎn)額定值       ≤30

數(shù)字功能     degas

接口（數(shù)字）(2)      RS232C

發(fā)射控制     automatic / manual via interface

單絲    two Yt2O3 coated Ir

單絲狀態(tài)/繼電器      LED / relay

電氣連接     D-Sub, 15-pin, male

電纜長(zhǎng)度，zui大 (3)   m (ft.) 100 (330)

暴露于真空的材料     Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass

內(nèi)部容積 KF / CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)

重量 KF / CF g   450 / 710

保護(hù)等級(jí)     IP30

Profibus DP

波特率      9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500

地址    2 switches (address 00 - 127) or network programmable

數(shù)字功能     read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information

模擬功能     0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B

設(shè)定點(diǎn)繼電器： 設(shè)定點(diǎn)數(shù)量     2

設(shè)定點(diǎn)繼電器： 范圍  mbar    1×10-9 … 100

設(shè)定點(diǎn)繼電器： 繼電器觸點(diǎn)     n.o., potential free

設(shè)定點(diǎn)繼電器： 滯后  % of reading    10

設(shè)定點(diǎn)繼電器： 觸點(diǎn)額定值     ≤30

Profibus DP 連接器       D-Sub, 9-pin, female

CDG（模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點(diǎn)）連接器        D-Sub, 15-pin, male

DeviceNet™ 

協(xié)議    DeviceNet™, group 2 slave only

數(shù)據(jù)率開關(guān)   kBaud   125, 250, 500 or network programmable

電纜長(zhǎng)度 125 kbps    m (ft.) 500 (1650)

電纜長(zhǎng)度 250 kbps    m (ft.) 250 (825)

電纜長(zhǎng)度 500 kbps    m (ft.) 100 (330)

MAC ID      2 switches (address 00 - 63) or network programmable

數(shù)字功能     read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information

模擬功能     0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B

技術(shù)規(guī)格     DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"

設(shè)備類型     ''CG'' for combination gauge

I / O 從屬傳訊       polling only

設(shè)定點(diǎn)繼電器： 設(shè)定點(diǎn)數(shù)量     2

設(shè)定點(diǎn)繼電器： 范圍  mbar    1×10-9 … 100

設(shè)定點(diǎn)繼電器： 繼電器觸點(diǎn)     n.o., potential free

設(shè)定點(diǎn)繼電器： 滯后  % of reading    10

設(shè)定點(diǎn)繼電器： 觸點(diǎn)額定值     ≤30

DeviceNet™ 電源電壓      +11 … +25

真空計(jì)電源電壓       +20 … +28

DeviceNet™ 連接器        Microstyle, 5-pin

BPG（模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點(diǎn)）連接器        D-Sub, 15-pin, male

以太網(wǎng) 

以太網(wǎng)協(xié)議       protocol specialized for EtherCAT

通訊標(biāo)準(zhǔn)     ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"

節(jié)點(diǎn)地址     Explicit Device Identification

物理層      100BASE-Tx (IEEE 802.3)

以太網(wǎng)數(shù)字功能       read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission control, degas function monitor gauge status, filament status safe state allows definition of behavior in case of error detailed alarm and warning information

過程數(shù)據(jù)     Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping

(CoE)      SDO requests, responses and information

以太網(wǎng)連接件     RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT

電纜    shielded Ethernet CAT5e or higher

電纜長(zhǎng)度 m (ft.) ≤100 (330)

1) 除氣期間降低精度

2) 同時(shí)使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器，不允許使用現(xiàn)場(chǎng)總線

3) 適用于 RS232C 運(yùn)行 <30m
353-570 BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF

353-571 BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R

353-572 BPG402-S 真空計(jì)

353-573 BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R

353-574 BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF

353-575 BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R

353-576 BPG402-SD 型真空計(jì)

353-577 BPG402-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R.

353-578 BPG402-SL BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R

353-590 BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF

353-591 BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R
353-511 BPG400 24V電源

353-512 Baffle for BPG400

211-113 中心圈 with baffle DN 25 KF
354-494 BPG402 感應(yīng)器

354-495 BPG402 Spare measurement system DN40CF-R